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Halbautomatischer Wafer Mounter

Die POWATEC Wafer Mounter Typen 651 und 851 ermöglichen das Aufkleben von Folien auf Wafer / Substrate und den Rahmen (Frame) in einer Aufspannung. Der Wafer wird mit Vakuum während des Aufklebevorgangs auf einem antistatischen Feinstgewebe (Carbon) gehalten. Dieses Gewebe schützt die Waferoberfläche während dem Aufklebeprozess und absorbiert allfällige Schmutzpartikel.  Mit einer gesteuerten und aufblasbaren Membrane wird die Folie auf Wafer und Frame luftblasenfrei aufgeklebt. Während des Aufklebeprozesses kann bereits ein neuer Rahmen und Wafer eingelegt werden. Dies erhöht die Produktivität um 30%.

Hauptmerkmale:

  • Halbautomatische Montage von Wafer /Substrat auf Rahmen (Frame)
  • Hohe Aufklebegenauigkeit mittels Optiksystem
  • Verarbeiten von rechteckigen Substraten und Teilstücken (gebrochene Wafer) sowie bumped Wafers
  • 10 verschiedene Programme abspeicherbar
  • Bespannen nur von Rahmen (Frame) mit Folie
  • Kompakte und robuste Tischkonstruktion
  • Kurze Installations- und Einführungszeit
  • Kostengünstig im Unterhalt
  • Entspricht den IEC 204-1 Sicherheitsnormen
  • Produktivität bis 90 Wafer/Std.

 

Optionen:

  • Umrüstkit für 6” oder 8” Frame
  • Automatische Aufrollung des Schutz-Layers bei UV Folie (PTW)
  • Ionisiersprühstab mit 7000V Netzteil (ASB)
  • Reinraumtauglicher Arbeitstisch mit  Stauraum auf Rollen und Feststellfüssen

 

Produktvideo: Sehen Sie den Wafer Mounter in Aktion

Produktkatalog WM851 herunterladen

 

 

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