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Manueller WAFER Laminator MODEL L-200 für 4” bis 8" Wafergrösse

Der POWATEC Wafer Laminator Model L-200 ermöglicht das Aufbringen einer Schutzfolie auf den Wafer vor dem Schleifprozess. Der Wafer wird auf den Vakuumchuck gelegt und mittels drei pneumatischen Stiften zentriert. Das Vakuum hält den Wafer während des Laminierprozesses sicher in Position. Mittels einer Gummirolle wird die Schutzfolie blasenfrei aufgeklebt. Mit der Schneidvorrichtung wird die Schutzfolie entlang der Waferkante geschnitten und mit dem Quermesser von der Folienrolle getrennt.

Hauptmerkmale:

  • Bis 8" Wafer laminierbar
  • Mit oder ohne Flat
  • Folienspannung einstellbar
  • Schnelles und einfaches Umrüsten auf verschiedene Wafer und Folien
  • Kompakte und robuste Tischkonstruktion
  • Kurze Installations- und Einführungszeit
  • Kostengünstig im Unterhalt
  • Produktivität bis 80 Wafer/Std.

Optionen:

  • Umrüstkit für 4” bis 8” Wafergrösse
  • Automatische Aufrollung des Schutz-Layers bei UV Folie (PTW)
  • Ionisiersprühstab mit 7000V Netzteil (ASB)
  • Reinraumtauglicher Arbeitstisch mit  Stauraum auf Rollen und Feststellfüssen

     

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