UV-CURING SYSTEM U-450 für 450 mm WAFER mit FRAME
Die POWATEC Aushärtesysteme sind ausgelegt für bis zu 450 mm-Wafer mit Rahmen. Die LED erzeugt eine Wellenlänge von 365 nm mit einer optischen Ausgangsleistung von 800 mW.
Öffnen Sie die Abdeckung und legen sie den Wafer auf die Glasscheibe. Schliessen sie den Deckel. Die Belichtung startet sofort . Die Aushärtung ist nach ca. 10-60 Sekunden abgeschlossen, was einen Durchsatz von 50 bis 180 Wafer / Stunde erlaubt. Die Belichtungsdosis ist einstellbar von 80 mJ/cm² bis 1000 mJ/cm².
Hauptmerkmale:
• Kostengünstig in der Beschaffung
• Keine Entwicklung von schädlichem Ozon
• Keine Vorwärmzeit
• Hohe Lebensdauer der UV-LED's (10'000 Std. +)
• Geringer Intensitätsabfall (5% in 10'000 Std.)
• Keinen thermischer Einfluss auf die Folie
• Kompakte und robuste Tischkonstruktion
• Kurze Installations- und Einführungszeit
• Kostengünstig im Unterhalt
• Entspricht den IEC 204-1 Sicherheitsnormen
• Produktivität 50 -180 Wafer/Std.
Optionen:
• Stickstoffdusche